价格:未填
产品气流量：1-3000Nm3/h 产品纯度：>99.99999% 处理气体介质：氢气、氮气、氩气及其他惰性气体 特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理精度高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可达到ppb级净化。 适用范围：微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析（载气、零点气）、研发。