一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

仪器简介：

    新型的全自动薄膜测量分析工具，工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

技术参数：

·光谱范围：450-1000 nm

·多种微光斑自动选择

·专利光斑可视技术，可观测任何样品表面

·CCD探测器

·自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

·70度角入射

主要特点：

·完全自动化设计，一键式操作，直接报告输出

·液晶调制技术，测量光路中无运动部件

·CCD探测系统，快速全谱输出

·多个微光斑尺寸选择，专利可视技术

·封闭式样品仓

联系人：

袁文军  +86-21-31255909    +86-21-13761090949      邮箱：yuanwenjun@sunano.com.cn