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研究级经典型椭偏仪 UVISEL
2016-05-30 16:50  浏览:587
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 研究级经典型椭偏仪 UVISEL

仪器简介:

    20多年技术积累和发展的结晶,是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。采用PEM相位调制技术,与机械旋转部件技术相比,能提供更好的稳定性和信噪比。

 

技术参数:

可选光谱范围:

       * UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)

       * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

       * UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

       * UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

       * UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

       * 多种实用微光斑尺寸选项

       * 探测器:分别针对紫外,可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器

       * 自动样品台尺寸:多种样品台可选

       * 自动量角器:变角范围35° - 90°,全自动调整,最小步长0.01°

 

主要特点:

       * 50KHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件

       * 具备超薄膜所需的测量精度,超厚膜所需的高光谱分辨率

       * 具有毫秒级超快动态采集模式,可用于在线实时监测

       * 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件

       * 配置灵活

联系人:

袁文军  +86-21-31255909    +86-21-13761090949      邮箱:yuanwenjun@sunano.com.cn

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