型号 

Vertex251

Vertex12x12

XY 精度 

Uxy=2.0+L/250 

Uxy=2.6+L/175 

Z 精度 

Ux=2.5+L/150 

Ux=3.0+L/150 

XY 重现性 

2.0μm 

2.5μm 

Z 重现性 

2.0μm 

2.0μm 

XY 加速度 

500mm/S2 

Z 加速度 

200mm/S2 

XY 移动速度 

250mm/s 

Z 移动速度 

100mm/s 

光学尺分辨率 

1.0μm, 0.5μm, 0.1μm 

量测行程 

200x150x150mm 

300x300x150mm 

外形尺寸 

760x635x965mm 

1090x865x990mm 

重量 

60kg 

125kg 

承载重量 

7.5kg 

12kg 

基座材质 

铝合金(花岗岩选购l) 

传动方式 

Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z 

电控系统 

伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆 

光学系统 &放大倍率 

12:1 光学 Zoom, 17-410x 或 6.5:1光学 Zoom, 20-250x 

影像 & 光源 

红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统) 

软件 

InSpec for Windows Metrology Software 

工作环境 

20℃±2°,30-80% 湿度