形号 

Sol161 

量测行程 

160x160x160mm 

外形尺寸 

545x705x775mm 

重量 

55kg 

承载重量 

9kg 

平台材质 

铝合金 

基座材质 

铝合金 

传动方式 X&Y 

Steel Cross Roller Bearings 

XY 精度 

U=(2.8+L/150)μm 

Z 精度 

U=(2.8+L/100)μm 

XY 重现性 

U=2.8μm 

Z 重现性 

U=2.8μm 

光学尺分辨率 

1.0μm 

影像 

高分辨率彩色系统 

光源 

轮廓光,表面光,同轴光 

光学系统/放大倍率 

6.5:1 光学 Zoom, 0.7-4.5x 

量测系统 

InSpec for Windows Metrology Software 

工作环境 

20℃±2°,30-80% 湿度 

电源系统 

93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp