激光扫描光学轮廓仪（Laser Scanning Profilometer）
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激光扫描光学轮廓仪（Laser Scanning Profilometer）
详细信息 μScan采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor、Autofocus sensor、Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。
AF2 自动对焦（Autofocus)
借由探测器的回馈讯号调整物镜位置，得到待测物焦点，而获得待测物的确实高度。
CF4 共焦（Confocal, Laser)
激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，此时
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