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产品特点：
满量程从0.5(S)CCM到2000(S)LPM
响应时间10ms
量程比优于100：1
精度±0.8％读数±0.2％满量程（可选±0.4％读数±0.2％满量程）
带本地显示、并标配RS-232和模拟信号输出形式。
可显示多种参数，质量流量、体积流量、温度和绝对压力。
自动复位或在显示屏上按键复位
不受压力和温度变化的影响
无需预热
安装位置不敏感
现场可选30种校验气体
技术指标：
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指标
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质量流量计
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体积流量计
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描述
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标准量程
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0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500，2000SLPM
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满量程
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精度
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±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
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重复性
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±0.2%
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满量程
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量程比
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100:1
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测量
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响应时间
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10
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毫秒（可调）
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标准状态(STP)
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25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
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无
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仅测量质量流量用
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温度范围
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-10～50
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℃
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零点漂移
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0.02％
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满量程/℃/Atm
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量程漂移
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0.02％
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满量程/℃/Atm
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湿度范围
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0-100%
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无冷凝
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测量流量范围
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128％（过流率）
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满量程
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最大耐压
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145
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145*
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PSIG
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输出信号（数字）
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质量流量、体积流量、绝对压力和温度
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体积流量
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RS-232串口
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输出信号（模拟）
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质量流量
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体积流量
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0-5VDC
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可选输出信号
第二路模拟输出
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质量流量、体积流量、绝对压力或温度
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体积流量
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0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
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电气连接
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8针
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小型圆插头
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供电电压
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7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
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供电电流
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0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）
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安装位置敏感度
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0%
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安装后须清零
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预热时间
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＜1
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秒
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接液材质
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303&302不锈钢，Viton®，RTV硅树脂，玻璃纤维增强尼龙，铝
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* 对于体积流量计，若入口压力＞10PSIG时，须同厂家联系。
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