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PlasCalc系列等离子体监控器
测量用等离子体的发射可在仅3毫秒内达到200～1100nm的波长。PlasCals系列监控器为数据的获取提供高级过程控制和精密的数据运算。
功能特点
1.0nm（半最大值全波）光学解析度
200～1100nm波长范围
快速建立和保存实验方法
调制步骤编辑
调制步骤编辑工具可以使用户简单、快速地设置、建立和保存实验方法。利用该工具可以对多数复杂的等离子体过程建立简便而有效的步骤设置：例如测量薄膜沉积情况、监测等离子蚀刻、检查表面清洁处理、分析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。
用于简单的等离子体诊断的多重工具
PlasCalc型监控器配有操作软件，所提供的完整的公式编辑器可以进行所有需要的数学和算法功能。我们同时提供一个可选配的放射波长数据库，可以另外单独购买，它能够提供种类的鉴定；而波长编辑器则使用户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口，可以同时显示真实的光谱和所有控制过程信息。
【光电测量产品】
光源 真空紫外光谱仪 订制光谱仪 软X射线光谱仪 拉曼光谱仪 红外\紫外激光观察仪 夜视仪器 HPLC荧光光度计 CCD相机 动态光散射 高速摄影照相机 光纤光谱仪 海洋系列光谱仪 光谱系统 原子力显微镜 探测器 滤光片 红外光谱仪 单色仪 光栅 照度计 光信号电子学仪器 工业内窥镜 薄膜测量 PC示波器 数字记录仪 远红外太赫兹光谱仪 太阳光模拟器 袖珍数码显微镜相机 压电陶瓷 紫外线固化机 紫外反射镜 滤光片测量仪 电动位移台/电控位移台 纳米位移台 光电探测器 均匀光源
【激光系列产品】
光纤激光器 多模泵浦激光器 激光二极管未封装bar 激光二极管冷却装置 激光器电源 氦氖激光器 CO2激光器 半导体泵浦激光器 氩离子激光器 氦镉激光器 氮分子激光器 皮秒激光器 激光二极管电源 激光光谱测量 激光能量计/功率计 激光雕刻、打标、切割机 激光二极管模块 深紫外、紫外固体激光器 信号发生器 超快飞秒激光器 热电制冷产品 激光光束定位系统 激光光束分析仪 视频显微镜测量系统 激光准直器 多通道激光功率计 半导体激光器 激光测距仪 红外激光显示卡 调Q激光器 激光护目镜 光学平台 光学调整架 光学微调架 可调嵌入式光学调整架 倾斜位移台 通用调整台 光学延迟线 手动位移台 XY位移台 光学旋转台 角位移调整台 激光器附件 可变光阑 扩束镜 拉曼激光器 大功率光纤耦合激光器
PlasCalc系列等离子体监控器