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产品介绍：
KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生长炉由KJ-1200T管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ，最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
应用范围：
KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统，是专门为在金属箔（像铜箔、铝箔等）上生长薄膜而设计，广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上，特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。
规格参数：
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产品名称 |
1200℃石墨烯生长炉 |
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产品型号 |
KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S |
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管式炉 |
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加热区长度 |
440mm |
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恒温区长度 |
150 (+/-1 ℃) |
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工作温度 |
1100℃（此温度为长期加热温度） |
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最高温度 |
1200℃ |
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炉管尺寸 |
Φ60×1440mm |
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等离子射频电源 |
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输出功率 |
5 ～500W ± 1% . |
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射频频率 |
13.56 MHz ±0.005% . |
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反射功率 |
最大约200W |
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阻抗匹配 |
自动 |
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真空泵机组（双极旋片泵） |
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真空度 |
10-3torr |
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波纹管 |
KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. |
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质量流量计 |
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四通道控制 |
精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口 |
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MFC 1范围 |
0~100 sccm |
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MFC 2和3 |
0~500 sccm |
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进气接口 |
1/4NPS |
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出气接口 |
1/4NPS |
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水冷系统 |
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水冷法兰要求 |
水流量 >= 10L/M ，配有专业水冷机组 |