检测对象更换传感器，能够检测各种气体检测范围根据规格而定检测原理根据规格而定检测方式泵吸引式应用行业石油化工、半导体制造等

产品描述：通过更换传感器单元可以检测多种气体

可通过PDA读取数据

01.产品特点

●  通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器

●  传感器经过校准和交付，无需现场气体校准。此外，无需工具即可轻松更换传感器

●  小巧·轻便的设计

●  通过LCD显示屏轻松了解气体浓度，报警状态和错误信息

●  采样流量的自动控制功能

●  当插入与设置不同的传感器时，传感器具有防止错误插入的功能

●  通过连接PDA，可以获取存储在检测单元中的数据

●  转换器单元（选件）可用于检测NF3和CCl2。

●  符合CE标准

●  符合SEMI标准