使用范围：

对半导体制造装置发热部的冷却：

单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。

对激光装置发热部分的冷却：

激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。

其他产业用机器发热部分的冷却：

等离子熔接、自动包装机、模具冷却、洗净机械、镀金槽、精密研磨机、射出成型机、树脂成型机的成型部分等。

分析检测机器的发热部分的冷却：

    电子显微镜的光源、ICP发光分光分析装置的光源部分、分光光度计的发热部分、X线解析装置的热源、自动脉冲调幅器的发热部分原子吸光光度计的光源等。

l 节省水资源，可以使用水兑乙二醇混合液进行循环制冷，节约资源；严密的循环管路设计，防止循环水污染，延长循环水的使用时间；

l 高性能循环泵，可保证每天连续24小时运行；

l PID 温控技术，内置PT100传感器航空插件，保证了温度控制的精确性；

l 成熟的无氟制冷技术；

l 具有自我诊断功能；冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能；