品牌:KRI
离子束流:>400 mA
栅极直径:12 cm Φ
流量:2-20 sccm
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上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅网离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
离子束流: >400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.
采用双阴极灯丝和自对准栅网.加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
技术参数：
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离子源型号 |
离子源 KDC 100 |
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Discharge |
DC 热离子 |
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离子束流 |
>400 mA |
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离子动能 |
100-1200 V |
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栅极直径 |
12 cm Φ |
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离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
2-20 sccm |
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通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型压力 |
< 0.5m Torr |
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长度 |
23.5 cm |
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直径 |
19.4 cm |
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中和器 |
灯丝 |
* 可选: 可调角度的支架
应用领域：
1.溅镀和蒸发镀膜 PC
2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
3.表面改性, 激活 SM
4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD
5.离子蚀刻 IBE