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PECVD实验系统 等离子增强型PECVD实验系统

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品牌: 郑州科佳电炉有限公司
炉门开启方式: 上开门
最高温度: 1200度
加热元件: 电阻丝
单价: 50000.00元/台
起订: 1 台
供货总量: 1000 台
发货期限: 自买家付款之日起 10 天内发货
所在地: 河南 郑州市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2017-02-09 13:15
浏览次数: 391
询价
 
公司基本资料信息
详细说明



点 与普通的CVD系统相比,因为有等离子源的介入,系统的沉积温度相对较低。
配备有滑轨式管式炉可以轻松实现快速降温,实现快速退火。
操控界面可配备液晶操作系统,图文显示,直观易懂,对于设备的使用操作简单易学
该系统最高工作温度接近1150℃,能满足大多数热处理场合。
该设备可具体用于:碳、 ZnO 纳米管或纳米线的制备也可以用于制备单层石墨烯以及各种CVD实验 。





器 输出功率: 5 ~500W ± 1% .
射频频率: 13.56 MHz ±0.005% .
反射功率: 最大约200W
阻抗匹配: 自动





组 双极旋片泵, 极限真空0.1Pa
KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.
管内真空可达1Pa
可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(需要另外计算费用)

质量流量计 三通道的质量流量计(精度0.02% ) :数字显示,自动控制.
MFC 1范围: 0~100 sccm
MFC 2和3: 0~500 sccm
一个混气罐,底部装有泄废液口.
进气接口: 1/4NPS.
出气接口: 1/4NPS.
水冷系统 水冷法兰要求:水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组。



管式炉 炉管直径:80mm
炉管长度:1400mm
炉膛长度:440mm
控温精度:±1℃
工作温度:≦1200℃
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