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一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

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所在地: 上海
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最后更新: 2016-05-30 16:50
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一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

仪器简介:

    新型的全自动薄膜测量分析工具,工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

 

技术参数:

·光谱范围:450-1000 nm

·多种微光斑自动选择

·专利光斑可视技术,可观测任何样品表面

·CCD探测器

·自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

·70度角入射

 

主要特点:

·完全自动化设计,一键式操作,直接报告输出

·液晶调制技术,测量光路中无运动部件

·CCD探测系统,快速全谱输出

·多个微光斑尺寸选择,专利可视技术

·封闭式样品仓

 

联系人:

袁文军  +86-21-31255909    +86-21-13761090949      邮箱:yuanwenjun@sunano.com.cn

 

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