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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC10

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品牌: KRI
离子束流: >10 mA
栅极直径: 1 cm Φ
流量: 1-5 sccm
单价: 1.00元/台
起订: 1 台
供货总量: 1 台
发货期限: 自买家付款之日起 60 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-01-21 13:20
浏览次数: 208
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公司基本资料信息
详细说明

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 10, 宽束栅网离子源,最小型号的离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.

离子束流: >10 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝, 流量 (Typical flow): 1-5 sccm.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计.


技术参数:

 离子源型号

 离子源 KDC 10 

Discharge

DC 热离子

离子束流

>10 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

1 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

1-5 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

11.5 cm

直径

4 cm

中和器

灯丝

应用领域:

1. 离子清洗显微镜抛光 IBP

2. 溅镀和蒸发镀膜 PC

3. 辅助镀膜(光学镀膜) IBAD

4. 表面改性激活 SM

5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6. 离子蚀刻 IBE


应用案例:

1. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)

2. 伯东 KRI Gridded 考夫曼离子源用于离子束抛光工艺

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