排名推广
排名推广
发布广告
发布广告
会员中心
会员中心
推广 热搜: 检测  分析仪器  分析仪  凯氏定氮  磁力搅拌器  低温槽  烘箱  均质器  采样器  超低温冰箱 
 

美国 KRI 霍尔离子源 eH2000

点击图片查看原图
 
品牌: KRI
散射角度: >45
可充其他: Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
气体流量: 2-75sccm
单价: 1.00元/台
起订: 1 台
供货总量: 1 台
发货期限: 自买家付款之日起 60 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-01-21 13:58
浏览次数: 205
询价
 
公司基本资料信息
详细说明

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 2000 特别适合大中型真空系统带有水冷方式低成本设计提供高离子电流通常应用于离子辅助镀膜预清洗和低能量离子蚀刻.

尺寸直径= 5.7 = 5.5

放电电压 / 电流: 50-300V / 10A  15A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体


伯东 KRI 霍尔离子源 eH 2000 特性:

1.水冷 - 与 KRI 霍尔离子源 eh 1000 对比提供更高的离子输出电流

2.可拆卸阳极组件 - 易于维护维护时最大限度地减少停机时间即插即用备用阳极

3.宽波束高放电电流 - 高电流密度均匀的蚀刻率刻蚀效率高高离子辅助镀膜 IAD 效率

4.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统安装方便

5.高效的等离子转换和稳定的功率控制


在售型号及技术参数:

离子源型号

 

霍尔离子源

eH2000

eH2000LE

eH2000HO

Cathode/Neutralizer

F or HC

HC

HC

电压

50-300V

30-150V

50-250V

电流

10A

15A

15A

散射角度

>45

可充其他

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

气体流量

2-75sccm

高度

4.0“

直径

5.7“

水冷


应用领域:

1. 离子辅助镀膜 IAD

2. 预清洗 Load lock preclean

3. 预清洗 In-situ preclean

4. Direct Deposition

5. Surface Modification

6. Low-energy etching

7. III-V Semiconductors

8. Polymer Substrates


应用案例

1.伯东 KRI 霍尔离子源 EH400 HC用于离子刻蚀 IBE

2. KRI 霍尔离子源 EH 3000 HC用于辅助天文望远镜镜片镀膜

3. 伯东 KRI 霍尔离子源 EH 4200辅助镀膜 IBAD用于 PC 预清洁

4. KRI 考夫曼霍尔离子源辅助光学镀膜

5. 伯东 KRI 霍尔离子源 EH 5500辅助手机壳颜色镀膜

6. KRI 霍尔离子源 EH 3000HC成功应用于天文望远镜镜片离子辅助镀膜工艺IBAD

7. 伯东 KRI霍尔离子源在样品清洗前处理中的应用



更多>本企业其它产品
CD600 Nanofics低压等离子表面处理设备 CD681 Nanofics低压等离子表面处理设备 CD875 Nanofics 低压等离子表面处理设备 CD1000 Nanofics低压等离子表面处理设备 CD1836 Nanofics 低压等离子表面处理设备 inTEST ATS-545-M 高低温测试机 热流仪 inTEST ATS-710-M 高低温测试机 热流仪 inTEST ATS-730-M 高低温测试机 热流仪
免责声明 :

本页面所展现的信息: 美国 KRI 霍尔离子源 eH2000 ,该信息的真实性、准确性、合法性由该信息的发布方: 伯东企业(上海)有限公司 完全负责。生化分析仪器网对此不承担任何保证责任。

友情提醒 :

建议您在购买相关产品前务必确认 伯东企业(上海)有限公司 的资质及产品质量,过低的价格有可能是虚假信息,请谨慎对待,谨防欺诈行为。
如您发现该信息内有任何违法/侵权信息,请立即向我们举报并提供有效线索

网站首页  |  付款方法  |  版权隐私  |  使用协议  |  联系方式  |  关于我们  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报
免责声明:本站为供需双方提供信息交流的平台,不销售任何仪器,购买仪器请直接和仪器供应商联系!
本网所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责。本网站对此不承担任何保证责任。