μ-Star sv-120

型号 

SV120 

SV130 

SV140 

量测行程（X/Y/Z)

200x150x150mm 

300x200x150mm 

400x300x200mm 

外观尺寸（L/W/H) 

600x600x910mm 

700x700x940mm 

750x900x1100mm 

整机重量 

165kg 

225kg 

465kg 

机台负重 

20kg 

25kg 

30kg 

床台材质 

钢质-表面硬化防刮处理 

基座材质 

花岗石基座 

X/Y精度 

Uxy=3.0+L/150μm 

Uxy=3.0+L/150μm 

Uxy=3.0+L/150μm 

Z精度 

Uz=3.0+L/100μm 

Uz=3.0+L/100μm 

Uz=3.0+L/100μm 

X/Y重现精度 

Uxy=3.0 

Uxy=3.0 

Uxy=3.0 

Z重现精度 

Ux=3.0 

Ux=3.0 

Ux=3.0 

光学尺分辨率 

摄影机 

高分辨率彩色CCD, 768x494 Pixel Array 

轮廓光源 

LED,可调整式 

表面光源 

LED环型光源，可调整式，三环光 

镜头 

无段变倍镜头（0.75～5X)

量测软件 

QM-2800几何量测软件（可选用其它量测软件）