上海伯东是德国普发 Pfeiffer 授权销售维修中心, 自 2002年以来, 已累计为超过 100, 000+ 家企业提供维修保养服务, 客户遍布工业, 科研, 镀膜和半导体行业, 维修中心使用 100 ％ Pfeiffer 原厂部件和原装进口检测设备对维修产品做全方面的性能测试, 上海伯东拥有完全的拆解, 维修能力, 提供快速, 高质量的维修保养服务. 伯东公司在上海, 台湾, 日本都设有维修服务据点.
上海伯东提供普发分子泵清洁, 保养和维修服务
以 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列举例, 分子泵采用复合轴承设计, 顶端是磁性轴承, 下端是机械轴承支撑 (最常用的材料是陶瓷). 这种陶瓷轴承是有寿命的, 因此要定期检测维护. 建议小抽速分子泵 HiPace 700 以下平均使用 17200 小时保养一次, HiPace 1200 以上大抽速分子泵四年保养一次. 如工艺较差, 这个时间还应缩短. 定期检测分子泵能够及时的发现问题, 最大限度地延长分子泵的使用寿命, 避免因突然的故障停机导致的损失!
普发分子泵常见问题
1. 真空度正常, 分子泵可以达到全速, 但是噪音大
故障原因: 前级泵问题, 系统漏气, 轴承问题, 转速限定
建议: 分子泵运行超过3年, 可能内部陶瓷球轴承已磨损, 建议送修检测, 如果放任不管, 后续会磨损转子, 对泵体内部造成更严重的损伤
陶瓷轴承损伤 转子 Carbon 磨损
2. 油棉污染: 油棉变黑, 发黄
建议: 3-4年更换分子泵油棉. Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式, 可以给轴承降温, 减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承, 避免污染物附着在轴承上面, 有效延长分子泵的使用寿命
3. 分子泵无法启动: 用手拨动叶片, 叶片无法转动
建议: 转子已完全卡死, 建议立刻送修上海伯东
4. 分子泵异响:
故障原因: 异物进入, 陶瓷轴承磨损或损坏, 转子动平衡问题, 前级泵返油; 工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时, 会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害建议: 立即停机送修检测.jpg)
泵体内部Coating 转子污染
5. 分子泵无法达到全速, 真空度抽不下去
建议: 请检查前级真空是否正常, 如果是分子泵组, 请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下, 无法解决问题建议立即送修检测
6. 分子泵返油: 多数是由于前级泵返油导致, 建议立即送修检测
7. 无法启动: 没有供电, 控制器没有响应, 没有收到启动信号, 转子卡死或轴承损坏
8. 常见分子泵控制器报警
Err 006: 启动时间设定太短, 系统漏气或放气阀打开, 前级泵极限真空度问题
Err 021 / Err 108: 控制器问题
Err117: 控制器问题, 冷却问题, 系统漏气
造成分子泵故障的原因还有很多, 发现问题并及时联络上海伯东进行检测, 可以快速解决分子泵问题
上海伯东 Pfeiffer 分子泵维修保养型号包含:
HiPace 系列: HiPace 80, HiPace 300, HiPace 700, HiPace 1200, HiPace 2300 等.
Hicube 系列: Hicube 80, Hicube 300, Hicube 700 等
TMH TPH 系列: TMH 071, TMH 260, TMH 261, TMH 262, TMH 520, TMH 521, TMH 1001, TPH 1201, TPH 1501, TPH 2101, TPH 2301.
特殊型号: TMH 071-015-002, TMH 071-010-005, TMH 261-250, splitflow 50, splitflow 80, splitflow 300 / 310
分子泵配件: 电源: TPS 100, TPS 200, TPS 300, TPS 600, TPS 110, TPS 301, TPS 401, DCU 100, DCU 200 DCU 300, DUC 600, DCU 110, DCU 310, DCU 400, DCU 001, DCU 002
控制器: TC 100, TC 600, TC 750, TCP 380, TCP 600, TCP 5000, TC 110, TC400, TC 1200, TC 110 PB, TC 400 PB, TC 1200 PB
冷却单元, 通讯线, 连接阀等